走査型電子
走査型電子顕微鏡で撮影された様々な植物の花粉。原図の倍率は約500倍。平面部分は暗く、とがった部分ほど明るくなっているのがわかる。
走査型電子顕微鏡 (そうさがたでんしけんびきょう, Scanning Electron Microscope; SEM) は、電子顕微鏡の一種である。
電子線を絞り、電子ビームにして対象物に照射する。対象物に電子ビームがあたると、二次電子、反射電子、特性X線、蛍光等を発する。これらを調べることによって、ビームを当てた座標の情報が得られる。そして、ビームを走査（SCAN）することにより2次元の情報を得る。
一般的にSEM像といえば、二次電子像である。二次電子は等方的に発するので電界をかけて収集し、電荷量を輝度とする。画像の見え方は、入射ビームに対して垂直な面ほど輝度が低くなり、また、とがった部分ほど輝度が高くなる（エッジ効果）。
関連項目
- 透過型電子顕微鏡(TEM)